当流体细如发丝,每分钟仅流过几滴液体,传统流量计纷纷失效:浮子式卡滞、涡轮式转不动、超声波式信号淹没在噪声中……
这不是实验室的极端假设,而是半导体涂胶、生物试剂分配、微反应器控制等场景中的日常挑战。
而国内市场上能精准测量微小液体流量的传感器,凤毛麟角。
奥松此前已成功推出多款液体流量计,凭借出色的性能与可靠的品质,赢得了市场上广大客户的一致好评。延续这一技术积淀,ALS1005微流量液体流量传感器专为0.25~5 mL/min的微小流量设计。它依托奥松自主研发的高灵敏度MEMS芯片与24位ADC,采用热对流测量原理,直接感应流体流过微型加热器时上下游产生的温差变化。该温差与流量之间存在精确的函数关系,从而实现对mL级乃至μL级液体流量的高精度测量。
核心性能直击痛点
重复性:<±1.0% 满足定量分配的严苛要求;
无活动部件:没有叶轮、浮子或膜片,从根本上避免了卡滞、污染和磨损问题,尤其适合长期连续运行或含有微小颗粒的液体。
快速响应,实时监测:集成MEMS传感与数字信号处理,响应迅速,支持瞬时流量、累计流量及介质温度同步输出。配备LCD显示屏,无需连接上位机即可直观读取实时流量与温度数据,便于现场调试、巡检与快速故障判断。
高承压与良好兼容性:液路最大承压 0.68 MPa,接触液体材质为316不锈钢毛细管,能够安全、稳定、持久地应用于对材料性能要求严苛的领域,适配多种工业介质。
低功耗,易于集成:供电 5 VDC,消耗电流<200 mA,标准 IIC数字输出,便于嵌入式系统快速对接。

市场上同等量程、同等精度的液体流量传感器,并不多见。ALS1005具有高精度、快速响应、无活动部件、抗污染能力强等特点,是半导体精密制造、生物医药、体外诊断等高端领域实现国产替代的优选方案。
赋能多领域高端装备
半导体精密制造
光刻胶涂覆:在晶圆旋涂过程中,光刻胶的供给微流量需进行精确控制。ALS1005实时监测胶液流量,闭环调节泵阀,确保膜厚均匀性,减少缺陷。
湿法刻蚀与清洗:刻蚀液、清洗液的微小流量波动会直接影响关键尺寸(CD)均匀性。传感器实时反馈,助力工艺腔体维持稳定流体状态。
精密冷却系统:在光刻机、电子束曝光设备中,微量冷却液的流量监测保障热管理精度,避免局部过热导致精度漂移。
医疗健康与体外诊断
体外诊断与即时诊断:在免疫分析、生化分析仪等设备中,样本和试剂的单次加样量通常极其微小,对加样重复性要求极高。ALS1005可实时监测每次加样的实际流量,确保每次加样高度一致,从而提升检测结果的可靠性与稳定性。
生物反应器过程控制:哺乳细胞灌流培养过程中,营养液及代谢废液的低流量交换需要长期稳定监测。
药物输送系统:微量注射泵、胰岛素泵等设备中,ALS1005可作为闭环反馈元件,防止输注过量或堵塞。
环境监测与低碳技术
水质监测布控:在线分析仪中对水样与试剂的定量抽取需高精度控制。ALS1005耐受一定污染物,长期稳定性好,适用于地表水、污水站的无人值守监测。
碳捕集与封存:在胺液循环吸收CO₂的工艺中,吸收剂与再生液的微小流量差异可反映吸收效率。传感器可安装于旁路,实时提供流量数据,辅助系统优化。
实验分析与高端仪器
色谱/质谱仪进样系统:液相色谱中流动相梯度形成依赖精确的低流量控制。ALS1005可置于泵后检测,校验泵的流量准确性,或用于微流控柱前衍生系统。
微流控科研平台:器官芯片、液滴生成等前沿实验中,流体驱动源(注射泵、气压泵)的实际流量易受背压影响。集成ALS1005后可实时标定,提升实验重复性。
自动化液体处理工作站:在药物筛选、基因组学等高通量移液场景中,每个通道的微小流量可被独立监测,防止吸头堵塞或管路漏气导致的加液失败。
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